东京精密ACCRETECH表面粗糙度・轮廓形状复合测量机

东京精密粗糙度轮廓仪SURFCOM NEX性能介绍

东京精密粗糙度仪SURFCOM NEX可以对应粗糙度测量、轮廓测量、粗糙度轮廓形状综合测量这三种功能，可以根据测量目的选择相应的传感器。而且使用的是线性驱动，今天我们主要来说说东京精密nex必须使用线性驱动的理由：

1、凭借线性驱动部获得令人吃惊的低振动

无限提升传感器的分辨率本身并非难事。然而，如果不重新审视传感器的驱动结构，只是不必要地提升传感器单体的分辨率，那么就完全没有意义，这样的规格也只是摆设而已。东京精密在全世界首次在驱动部搭载高精度线性马达（已取得专利），同时根本性地达到结构上的“高精度极限点”，以动态分辨率的创意实现了无与伦比的实力提升。

2、非接触驱动的有效性

线性马达也适合往复运动，可准确定位并进行高速测量。传统的控制是组合了电机、编码器、线性光栅尺的滚珠丝杠驱动控制，因此特别是对于三维表面性状评价等，由于准确定位造成往复运动的控制响应性出现了极限。线性驱动基本上是仅靠线性马达和标尺的简单控制，因此可进行高响应性高精度的定位。

3、对位

为了不损害线性马达的超低振动特性，安装在X轴驱动部的手动进给机构在实际测量时，自动将手动齿轮机构与线性测量机构的连接分离开来。这样既确保了良好的操作性，又获得了高精度。此外，在手持操作部，为了能够在操纵杆操作以外切实操作微细的对位，布局了微动进给用JOG拨盘。

4、实现世界最高水平的高速测量

线性驱动部与无效运动极少的以1/100秒为单位的联合控制与启动响应相结合，实现了总测量时间的大长缩短。进行三维粗糙度测量时，测量时间为“传统测量时间的1/10x测量线数”。如果测量时间短，室温变化等的测量误差要素的影响就小，这直接关系到测量结果的可靠性。

5、拥有温度补正系统，使精度保证温度范围扩大到20℃±5℃

东京精密粗糙度仪SURFCOM NEX系列的驱动部配备了标准温度补正系统，使精度保证温度范围从原来的20℃±2℃扩大到了20℃±5℃.以往，因为温度变化引起的热胀冷缩会使X方向的指示精度受到影响，但是内置的温度传感器会根据实际的变化，自动进行补正。温度的补正与否对传感器的精度影响非常大，通过组合实现温度补正时NEX系列特有的功能。

6、免维护

日常不需要向驱动机构加注润滑脂、润滑油。因为更改了驱动支持导轨面的材质和机构，对无给油进行实证，实现了日常免维护。但是基于保证测量精度的观点，我们推荐定期维护。